氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度；

檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項(xiàng)真空指標(biāo)，如何快速地找到漏點(diǎn)關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營(yíng)成本。氦質(zhì)譜檢漏儀是第二次期間快速發(fā)展起來(lái)的一種高精度檢漏儀，其靈.敏度高達(dá)10-15pa:m3/s。當(dāng)今常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度在10-9 ~10-13pa.m3/s。氦質(zhì)譜檢測(cè)技術(shù)以其靈敏度高、速度快、使用安全、適用范圍廣以及可以量化漏點(diǎn)的漏率等特點(diǎn)，在航空、航天、汽車(chē)和電力行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，與其他諸多傳統(tǒng)檢漏方法相比，氦質(zhì)譜檢漏具有的技術(shù)優(yōu)越性。采用氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，可以實(shí)現(xiàn)飛機(jī)機(jī)翼整體油箱滲漏點(diǎn)的快速定位檢測(cè)與修補(bǔ)，保證機(jī)翼 翼盒的高質(zhì)量、率裝配。

檢漏儀調(diào)成真空模式，對(duì)檢漏儀和機(jī)組進(jìn)行連接，開(kāi)啟檢漏儀，當(dāng)真空度達(dá)到檢漏儀開(kāi)檢壓力后，對(duì)機(jī)組可能的泄漏點(diǎn)吹噴氦氣，當(dāng)氦氣泄漏量達(dá)到檢漏儀設(shè)定的報(bào)警值時(shí)，檢漏儀報(bào)警。吹噴氦氣時(shí)應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn):從機(jī)組的下方到上方，靠近檢漏儀處到遠(yuǎn)離檢漏儀處逐步噴吹。檢出大漏后要經(jīng)過(guò)修補(bǔ)再檢小漏。當(dāng)存在兩個(gè)鄰近的漏孔時(shí)，蓋住其中- -個(gè)漏孔再檢測(cè)另一個(gè)。當(dāng)噴吹某點(diǎn)時(shí)，檢漏儀顯示值有變化但較為緩慢，表明鄰近的其他地方有較大泄漏。檢漏場(chǎng)地應(yīng)有良好通風(fēng)，但不影響噴出氦氣的氣體流向?？偨Y(jié):氦質(zhì)譜檢漏儀在化鋰吸收式制冷行業(yè)廣泛應(yīng)用以后，使制冷機(jī)的壽命有著明顯提高，保證了化鋰制冷機(jī)15年以上的使用壽命