物鏡

處于樣品室下面，緊貼樣品臺，是電鏡中的個成像元件，在物鏡上產(chǎn)生哪怕是極微小的誤差，都會經(jīng)過多級高倍率放大而明顯地暴露出來，所以這是電鏡的一個重要部件，決定了一臺電鏡的分辨本領，可看作是電鏡的心臟。

特點 物鏡是一塊強磁透鏡，焦距很短，對材料的質地純度、加工精度、使用中污染的狀況等工作條件都要求極高。致力于提高一臺電鏡的分辨率指標的問題，便是對物鏡的性能設計和工藝制作的綜合考核。盡可能地使之焦距短、像差小，又希望其空間大，便于樣品操作，但這中間存在著不少相互矛盾的環(huán)節(jié)。

掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多的優(yōu)點，發(fā)展速度是很快的。

1 儀器分辨率較高，通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jié)，采用LaB6電子，可以進一步提高到3nm。

2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。

為什么會出現(xiàn)這樣奇怪的現(xiàn)象？為什么更好的分辨率卻沒有得到更真實的圖像？前面我們已經(jīng)說到，電子束是由掃描線圈的脈沖信號控制，電子束在試樣表面并不是連續(xù)掃描，而是逐點跳躍式的掃描。一般掃描電鏡的采集像素比較大，我們會誤以為是連續(xù)掃描。既然掃描電鏡是束斑間斷跳躍式的軌跡，那么電子束就有一定的覆蓋面積。

束斑中心的距離取決于放大倍數(shù)和采集像素大小。當束斑較大時，束斑覆蓋比較；但是當束斑減小時，束斑的覆蓋區(qū)域也越來越小，所以有的特征形貌會從束斑兩個跳躍中心穿過而沒有被覆蓋到，所以相應的形貌特征也不會反映在圖像上，這就造成了信息的丟失。像上述例子，在大倍數(shù)小，束斑之間跳躍間距小，足夠覆蓋特征形貌，但是縮小倍數(shù)后，跳躍距離變大，束斑不足以覆蓋所有的特征形貌，有的線條就反映不出來。