氣體質量流量控制器的密封材料如何選擇？

質量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時, 需要向供貨廠商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價格較高, 通常要求不高的場合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

如何通過質量流量控制器判斷沒有氣體通過？

質量流量控制器（MFC）是用來控制氣體流量的，質量流量計（MFM）是用來測量氣體流量，如果你需要檢測氣體流量需要用MFM。 當然MFC還是有檢測方法的，如果通過氣體流量比較大，壓比較大，可以為MFC設定一個大流量，MFC會反饋一個值，這個值就是氣體的流量。 如果流量比較小，壓力比較小MFC就不能測出來了，因為MFC壓損通常是比較大的，如果氣體流量比較小，壓力比較小就沒辦法測量了，就需要抵壓損的MFM。

氣體質量流量控制器特點

利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系。該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD，一只用來做熱源，一只用來測量流體溫度，當流體流動時，兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系，再通過微電子控制技術，將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。

采用全新的進口傳感技術以及高精度的機械加工技術，能實現微小流量測量和控制，其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償，廣泛應用于輕工化工環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氮氣等氣體的檢測和控制