氦氣在在半導(dǎo)體中的檢漏作用

為了防止半導(dǎo)體器件、集成電路等元器件的表面因玷污水汽等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，就必須采用管殼來(lái)密封。但是在管殼的封接處或者引線接頭處往往會(huì)因?yàn)楦鞣N原因而產(chǎn)生一些肉眼難以發(fā)現(xiàn)的小洞，所以在元器件封裝之后，就需要采取某些方法來(lái)檢測(cè)這些小洞的存在與否。 氦氣檢漏就是采用氦氣來(lái)檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。任何儀器在制作過(guò)程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系，但是在半導(dǎo)體器件、集成電路等重要電氣設(shè)備及儀器中，良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要。因?yàn)楹ぴ拥某叽绾苄?，容易穿過(guò)小洞而進(jìn)入到管殼內(nèi)部，所以這種檢測(cè)方法能夠檢測(cè)出尺寸很小的小洞（即能夠檢測(cè)出漏氣速率約為10?11～10?12cm3/sec的小洞），靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡(jiǎn)便。

氦氣檢漏試驗(yàn)的方法：首先把封裝好的元器件放入充滿氦氣的容器中，并加壓，讓氦氣通過(guò)小洞而進(jìn)入管殼中；然后取出，并用壓縮空氣吹去管殼表面的殘留氦氣；接著采用質(zhì)譜儀來(lái)檢測(cè)管殼外表所漏出的氦氣。

汽車氦檢漏

充氦方式：箱內(nèi)充氦待檢工件：汽車空調(diào)冷凝器、蒸發(fā)器及管路真空箱數(shù)量：2個(gè)真空箱尺寸：1100（長(zhǎng)）×550（寬）×250（高）mm，鴨嘴式自動(dòng)開關(guān)門每箱可檢工件數(shù)量：依據(jù)工件大小而定生產(chǎn)節(jié)拍：可依據(jù)客戶要求而定氦氣是否回收：是，設(shè)備帶回收系統(tǒng)

雙箱聯(lián)動(dòng)運(yùn)行，每個(gè)真空箱可檢多個(gè)工件真空箱翻蓋式結(jié)構(gòu)，自動(dòng)開關(guān)箱門特殊設(shè)計(jì)的夾具與工件相匹配，滿足不同工件的檢測(cè)需要一體式設(shè)計(jì)，即整臺(tái)設(shè)備安裝在一個(gè)底座上，設(shè)備移位簡(jiǎn)單方便配備堵塞檢測(cè)功能，判斷工件是否有堵塞配備電腦及打印機(jī)，自動(dòng)存儲(chǔ)及打印檢測(cè)數(shù)據(jù)適用于汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器、管路的氦檢漏方案

氦氣漏檢測(cè)試

真空測(cè)試(由外向內(nèi))

氦氣生產(chǎn)廠家表示，在真空測(cè)試中，對(duì)于較大的體積，用單獨(dú)的泵系統(tǒng)對(duì)器件進(jìn)行抽真空，對(duì)于較小的體積，則在檢測(cè)器內(nèi)部進(jìn)行抽真空。找到漏洞使用流量可調(diào)的噴霧探針將氦氣注入零件的泄漏部位。

壓力測(cè)試(由內(nèi)向外)

在壓力測(cè)試中，零件用氦氣或氦氣和空氣的混合物加壓。找到漏洞使用連接到檢漏儀入口的嗅探器探針掃描零件的潛在泄漏點(diǎn)。

如何選擇正確的氣體檢測(cè)解決方案

確認(rèn)所要檢測(cè)的氣體種類和濃度范圍

每一個(gè)生產(chǎn)部門所遇到的氣體種類都是不同的。在選擇氣體檢測(cè)儀時(shí)要考慮到所有可能發(fā)生的情況。如果和其它毒性較小的烷烴類居多，選擇LEL檢測(cè)儀無(wú)疑是為合適的。充注檢漏氣體前先檢查大漏在充注檢漏氣體前應(yīng)快速測(cè)試是否存在大漏。這不僅是因?yàn)長(zhǎng)EL檢測(cè)儀原理簡(jiǎn)單，應(yīng)用較廣，同時(shí)它還具有維修、校準(zhǔn)方便的特點(diǎn)。當(dāng)然在一些人員罕至、維護(hù)不方便的區(qū)域，或者可燃?xì)庑孤ū热绻摅w內(nèi)等密閉空間），采用紅外可燃?xì)怏w檢測(cè)器不失為一種較好的選擇。